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原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope, AFM）已發(fā)展成為非常重要的具有原子級分辨的材料表面分析儀器。它能同時獲得形貌，力學(xué)、電學(xué)、磁學(xué)以及化學(xué)性能，在半導(dǎo)體行業(yè)、材料研究、納米技術(shù)和生化領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用。探針是儀器極其重要的配件/耗材，對AFM的分辨率、一致性有決定性的影響。國際上有7—8家企業(yè)生產(chǎn)，主要在歐洲和美國。目前市場已有的探針易磨損、需頻繁更換且一致性差。本項目提出采用一維納米線來制備高分辨功能AFM探針。納米線包括各種導(dǎo)電、磁性納米線以及碳納米管。我們生產(chǎn)的高性能探針的性能具有：分辨率極高（針尖直徑從40納米降為10納米）；使用壽命延長（提高十倍以上）；后續(xù)開發(fā)包括功能探針（導(dǎo)電和磁性探針）。本項目產(chǎn)品已經(jīng)規(guī)模制備成功，并申請了2項國內(nèi)專利和1項美國專利。用戶包括清華大學(xué)、中科院等單位。中科院高能所納米安全實驗室采用我們的碳納米管原子力顯微鏡探針，檢測的數(shù)據(jù)已經(jīng)發(fā)表在國際頂級雜志上。作為我國唯一制備AFM探針的企業(yè)，我們有希望很快占據(jù)較大的國際市場份額。國際市場每年總需求估計在10億—20億元人民幣左右，市場需求成長高于20%。本技術(shù)后續(xù)開發(fā)產(chǎn)品包括高性能x射線源，這方面的市場非常大，主要用于安檢、工業(yè)探傷、醫(yī)療等。 【展開】 【收起】