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本項(xiàng)目聚焦于晶圓檢測(cè)技術(shù)與設(shè)備，旨在提升國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域的技術(shù)水平與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。當(dāng)前，先進(jìn)制程的國(guó)產(chǎn)化率較低，尤其是在500道以上工藝、1X制程量檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，國(guó)產(chǎn)化率僅為5%。項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)實(shí)力雄厚，匯聚了多位頂尖專(zhuān)家，與國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體上下游企業(yè)緊密合作。技術(shù)亮點(diǎn)包括基于軌道角動(dòng)量的光學(xué)檢測(cè)算法、電子束短波高精度檢測(cè)以及超精密化學(xué)平坦化多傳感監(jiān)控系統(tǒng)。項(xiàng)目產(chǎn)品涵蓋顯示驅(qū)動(dòng)芯片晶圓探測(cè)自動(dòng)測(cè)試設(shè)備，定位于國(guó)產(chǎn)化替代，打破國(guó)外技術(shù)壟斷。目前，項(xiàng)目已取得階段性成果，檢測(cè)流程提速42%，輔助工藝良率提升23%，獲得“高價(jià)值技術(shù)方案”評(píng)價(jià)，減少30%晶圓制備流程，項(xiàng)目收入累計(jì)達(dá)2300+萬(wàn)。未來(lái)，項(xiàng)目將繼續(xù)深化技術(shù)研發(fā)與市場(chǎng)拓展。 【展開(kāi)】 【收起】